제품정보
LCD, OLED, 반도체, 자동차 FPD 등의 nsntek의 정밀 Stage 제품을 소개 합니다.
LCD, OLED, 반도체, 자동차 FPD 등의
nsntek의 정밀 Stage 제품을 소개 합니다.
Air Bearing Type Stage
(입식 Orifice Type)
Orifice 구조, Mover Air Bearing Type
2면만 Guide 사용하여 작은 공간으로 높은 성능을 구현
EX) Wafer 검사, 노광 등 반도체용 Stage
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Air Bearing Type Stage
(Pad Type)
유체를 이용하여 Guide 마찰이 없는 Type
진동에 민감하거나, 일정한 속도 유지가 필요한 장비에 적용
EX) Inkjet, LLO, ELA Stage 등
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